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반도체 검사 장비 온도 모니터링 연구 게재 승인

2026.02.09

김종원·고영명 교수와 백승민, 유담, 김재현 연구진의 공동연구가 IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing에 게재 승인되었습니다.

Kim, J.¹; Baik, S. M.; Yu, D.; Kim, J.; Ko, Y. M.^*

국소 가우시안 프로세스를 이용하여 반도체 자동 검사 장비의 온도를 모니터링합니다.

39(2), 256–265